[서울=뉴스핌] 나은경 기자 = 반도체 소재·부품·장비 국산화를 위해 소부장 업체들에 꼭 필요했던 12인치(300mm) 반도체의 테스트베드가 국내 구축됐다. 내년 초 업체들을 대상으로 테스트베드 서비스가 본격 개시될 예정이다. 

나노종합기술원은 15일 대전 유성구 본원에서 기자간담회를 열고 관련 성과를 발표했다.

[서울=뉴스핌] 나은경 기자 = 12인치 반도체 테스트베드 구축현장 [사진=나노종기원] 2020.12.15 nanana@newspim.com

이번에 나노종기원이 구축한 12인치 반도체 테스트베드는 전 세계 반도체 산업에서 가장 많이 쓰이는 12인치 반도체 소부장 기술과 제품 서비스의 성능을 평가해볼 수 있는 역할을 하게 된다. 소부장 자립에 꼭 필요한 시설이지만 이제까지 국내에 없어 국내 소부장 업체들은 해외에서 테스트를 진행해야만 했다.

나노종기원은 이를 위해 지난해부터 오는 2022년까지 12인치 반도체 테스트베드를 위해 총 450억원의 예산을 지원받기로 했다.

과학기술정보통신부와 산업부, 나노종기원과 한국반도체산업협회는 테스트베드가 구축되는 과정에서 유기적인 업무협력 네트워크를 구축해 반도체 소부장 국산화를 촉진하기 위해 노력해왔다. 나노종기원이 우수 소재와 부품, 장비기술을 발굴하거나 기업을 찾아내면 반도체협회가 최종 수요기업을 찾아 연계협력을 하는 식이다. 최종 수요기업은 성능평가 지원사업, 패턴 웨이퍼 공급사업 등에 테스트베드를 우선 활용할 수 있다.

나노종기원은 앞으로 20nm급 패터닝 공정기술 서비스를 제공하겠다는 포부도 밝혔다. 지금 구축하고 있는 불화아르곤(ArF) 이머전 스캐너는 최대 분해 능력이 45nm에 불과한데 삼성전자나 SK하이닉스 등 종합반도체 회사들은 40~20nm급 PR 패터닝 공정을 활용하고 있어 국내 소부장 업체들에 20nm급 패턴 공정기술이 꼭 필요하다는 판단에서다. 이를 위해 추가적인 공정장비를 도입할 방침이다.

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