[서울=뉴스핌] 김준희 기자 = 이차전지 및 디스플레이 장비 전문기업 주식회사 나인테크는 2021년도 중소기업기술혁신개발사업(중소기업부, 소부장일반)'의 주관연구개발기관으로 선정됐다고 27일 밝혔다.

과제명은 '반도체 식각 장비의 MTBC 향상을 위한 내식각성 부품(Focus ring) 제조 기술 개발'로 총 개발 기간은 2년이다.

[로고=나인테크]

본 과제와 관련해 나인테크 관계자는 "당사가 맡은 본 과제는 반도체 식각 공정에 사용되는 반도체 부품(Focus ring)의 개발로 본 부품은 실리콘 웨이퍼를 고정시키고, 균일한 플라즈마 밀도 유지와 웨이퍼 측면(Edge)의 오염을 방지하는 역할을 수행한다"며 "특히 High Power Plasma의 극한 환경에 노출돼 쉽게 식각되기 때문에 주기적인 교체가 필요한 소모성 부품이다. 본 제품 개발이 완료될 경우 꾸준한 매출 증대에 기여할 수 있을 것으로 기대한다"고 말했다.

또 관계자는 이어 "더 나아가 이번 과제 수행을 통해 Focus Ring의 본격적인 사업화가 이뤄진다면 반도체 부품 시장의 수입의존도를 낮추고 전문 인력을 양성하는 등 국내 반도체 부품 시장의 경쟁력을 높일 것으로 기대된다"고 전했다. 

나인테크는 디스플레이 제조장비업으로 시작, 이차전지 장비 시장으로 사업영역을 확대했다. 이번 국책과제 선정으로 회사는 반도체 분야의 부품 시장까지 그 영역을 넓힐 수 있게 됐다.

zunii@newspim.com