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[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 설비·소재업체 에프에스티(FST)가 극자외선(EUV) 펠리클(Pellicle) 연내 양산을 목표로 하고 있다.

에프에스티 관계자는 18일 "메탈 실리사이드(Mesi-based) 소재 기반의 400W EUV 펠리클 공정을 확보해 빠르면 올해, 늦어도 내년 상반기에 양산을 목표로 두고 있다. 반도체 업황이 좋지 않아 변수는 있을 수 있다"며 "1세대와 더불어 2세대 600W EUV 펠리클 개발도 절차대로 잘 진행 중이다"고 말했다.

펠리클은 회로가 새겨진 포토마스크를 보호하는 초박막 필름이다. 실리콘웨이퍼에 포토마스크를 올리고 빛을 쬐면 패턴이 형성된다. 이 과정에서 펠리클은 오염을 최소화해 포토마스크를 수차례 더 사용할 수 있도록 한다. EUV 펠리클은 장당 수억원에 달하는 EUV 마스크를 보호하기 위한 부품이다.

에프에스티 로고. [로고=에프에스티]

에프에스티는 장비부문인 EUV 펠리클 EPMD(Euv Pellicle Mounter & Demounter), EUV 펠리클 및 EUV Pod 검사 장비는 개발이 완료됐다. 지난 7월 국내 반도체 제조사에 납품을 통해 EUV 펠리클 장비 관련해 첫 매출을 달성했다.

펠리클의 경우 국내업체는 물론 대만, 일본, 미국 등 해외로부터 좋은 평가를 받고 있다. 에프에스티의 국내 펠리클 시장 점유율은 85%, 글로벌 점유율은 20%를 차지하고 있다. 한국IR협의회에 따르면 현재 글로벌 DUV용 펠리클 시장규모는 2500억원으로 추산되나, EUV용 펠리클 도입이 본격화되면 시장 규모는 조 단위 수준으로 급증할 전망이다.

1987년 설립된 에프에스티는 반도체 및 디스플레이 공정에서 포토마스크용 보호막 '펠리클'과 공정 중 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비인 '칠러(Chiller)'를 주력으로 생산하는 반도체 재료·장비 전문업체다.

에프에스티는 반도체 장비 '칠러'를 지난 2000년에 최초로 제품 출시했다. 국내에서는 비교적 후발주자에도 불구하고 지난해 칠러장비와 그외 연구용 장비부문 매출액은 1211억원(전체 매출액의 54%)을 기록했다. 최근에는 ESG 정책이 강화되면서 친환경·작은 사이즈 추세에 걸맞는 칠러 개발을 완료해 매출을 발생시키면서 해외시장에서 입지도 강화하고 있다.

에프에스티 관계자는 "반도체 업황 불황으로 아직 국내 기업들이 반도체 투자에 적극적인지 않은 상태이기에 올해는 비슷한 실적을 이어갈 것으로 본다. 내년부터 본격적인 실적 개선이 되지 않을까 예상한다"고 말했다.

에프에스티는 지난해 매출액 2234억원 영업이익 62억원을 기록했다. 한국IR협의회는 올해 에프에스티가 매출액 2301억원, 영업이익 145억원을 기록할 것으로 전망했다. 전년대비 각각 3%, 135.2% 증가하는 수치다.

nylee54@newspim.com