[서울=뉴스핌] 김승현 기자 = 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문에 동행중인 이종호 과학기술정보통신부 장관은 삼성전자, SK하이닉스와 네덜란드 반도체 장비기업 ASML 간의 협력에 대해 "우리 기업들이 굉장히 많이 필요한 EUV 장비 자체를 좀 더 수월하게 공급받을 수 있는 기회"라고 말했다.

이종호 과학기술정보통신부 장관은 지난 11일 늦은 오후 (현지시간) 네덜란드에서 가진 현지 브리핑에서 이같이 밝혔다.

[서울=뉴스핌] 윤석열 대통령이 지난 2월 1일 경북 구미시 SK 실트론을 방문해 최태원 SK그룹 회장의 안내를 받으며 실리콘 웨이퍼 라인을 시찰하고 있다. [사진=대통령실] 2023.02.01 photo@newspim.com

윤 대통령은 12일(현지시간) 네덜란드 국빈 방문 일정으로 빌렘 알렉산더 국왕과 함께 세계적인 반도체 장비 생산기업 ASML 본사를 방문했다. 본사 방문에는 이재용 삼성전자 회장과 최태원 SK그룹 회장 등이 함께 했다.

ASML은 인공지능, 스마트폰 등에 사용되는 최첨단 반도체 제조에 사용되는 EUV 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 기업으로 우리 반도체 기업들과 오랜 기간 긴밀한 협력 관계를 유지해 오고 있다.

양국 정상은 ASML 본사에서 한국, 네덜란드, 유럽의 주요 반도체 기업, 기관들과 간담회를 개최했다. 간담회에는 삼성전자, SK하이닉스, ASML, ASM(네덜란드, 증착장비), Zeiss(독일, 광학시스템), IMEC(벨기에, 반도체 연구기관) 대표들이 참석했다.

간담회 직후 양국 정부와 기업 등은 3건의 반도체 분야 협력 MOU(업무 협약)를 체결했다.

ASML은 삼성전자와 함께 1조원을 투자해 차세대 EUV 기반으로 초미세 공정을 공동 개발하는 '차세대 반도체 제조기술 R&D센터'를 한국에 설립하는 MOU를 체결했다. 장비기업인 ASML이 반도체 제조기업과 공동으로 해외에 반도체 제조 공정을 개발하기 위한 R&D센터를 설립하는 것은 이번이 처음이다.

SK하이닉스는 ASML과 'EUV용 수소가스 재활용 기술개발 MOU'를 체결했다. EUV 장비 내부의 수소를 태우지 않고 재활용할 경우, 전력 사용량은 20% 줄어들고 연간 165억원의 비용이 감축될 것으로 기대된다.

[서울=뉴스핌] 이형석 기자 = 이종호 과학기술정보통신부 장관. 2023.12.05 leehs@newspim.com

이 장관은 "노광장비는 반도체 집적공정에서 가장 중요한 장비다. EUV를 생산하는 기업은 ASML이 세계에서 유일하다"며 "7나노 공정을 EUV로 하면 시간도 줄이고 수율도 높일 수 있는 그런 기술이다. 결국 7nm 이하 기술에는 EUV를 사용해야 한다는 것"이라고 설명했다.

이 장관은 "삼성전자 같은 경우에는 3나노 기술을 양산에 적용했으니 그런 곳에서는 필연적으로 EUV 장비가 필요하다"며 "이번 반도체 동맹을 함으로 해서 이전보다 좀 더 유연하게 우리가 장비를 조달하는데 있어서 이점이 있을 것"이라고 강조했다.

이 장관은 "EUV 광원을 만들어낼 때 주석을 흘리고 거기에 레이저를 쏴서 발생되는 EUV 광원의 파장이 13.5나노미터(nm) 정도 된다"며 "그런 것을 만들 때 주석이 산화되는 것을 방지하기 위해서 수소를 쓰는데, 수소가 일종의 환원제로 쓰인다. 그런 것을 SK와 ASML이 같이 협력하는 관계"라고 말했다.

그는 이어 "이번 반도체 동맹을 통해 양국 간 부분적이기는 하나 삼성전자와 ASML 사이에 아직 밝혀지지 않았지만 공동 투자를 해서 리소그래피에 관계되는 공정을 개발하지 않을까, 관련 기술을 개발하지 않을까 생각한다"며 "EUV 장비 자체가 굉장히 많이 필요하다. 그것을 우리나라 기업들이 좀 더 수월하게 공급받을 수 있는 기회"라고 말했다.

이 장관은 이어진 질의응답에서 'ASML에서도 반도체 동맹이라는 표현을 사용하냐'는 질문에 "한국과 네덜란드 사이에 반도체 동맹을 강조한다고 보면 된다"며 "네덜란드 정부에서 ASML과 당연히 협의를 할 수밖에 없는 관계다. 그런 측면에서 우리나라가 좀 더 유연하게 대처할 수 있다"고 답했다.

이 장관은 '이번 MOU 체결과 협력으로 우리 기업들도 노광장비를 자체 개발 생산하는 수준까지 갈 수 있냐'는 질문에 "EUV 노광장비의 기술적 난이도는 매우 높다. 그래서 노광장비 자체를 개발한다는 것은 현실적으로 기술적으로 봤을 때 쉽지 않다"고 말했다.

이어 "EUV에서 광원의 세기가 중요하다. 세기가 세지면 1시간에 노광을 할 수 있는 웨이퍼 숫자가 늘어나게 된다"며 "그런 측면에서 아까 SK와 ASML 사이, 삼성과 ASML 사이에 협력을 한다는 것은 시스템 전체를 개발하는 것이 아니라 부분적인 기술 또는 관계되는 공정 기술이 되지 않을까 생각한다"고 부연했다.

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