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산업부·과기부, 반도체 소부장 기술개발에 1500억 지원

기사등록 : 2024-03-05 15:00

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산업부·과기부 1차관, 5일 반도체 장비기업 방문
공공팹 테스트베드 강화…글로벌 첨단팹 연계
원천기술 개발사업 착수…생태계 펀드 본격 집행

[세종=뉴스핌] 김기랑 기자 = 산업통상자원부와 과학기술정보통신부가 반도체 생태계 강화를 위해 반도체 소부장(소재·부품·장비) 기술개발과 사업화를 공동으로 지원한다.

강경성 산업부 1차관과 이창윤 과기부 1차관은 5일 경기도 용인시에 소재한 반도체 장비 기업 테스를 방문해 반도체 생태계 구축을 위한 현장 의견을 청취하고 정책지원 의지를 다졌다. 이번 현장 방문은 지난 1월 25일 반도체 인재양성 현장인 대전 카이스트 방문에 이어 양 부처가 함께한 두 번째 공동 행보다.

테스는 플라즈마 CVD(웨이퍼 위에 화학물질을 기화시켜 박막을 증착하는 장비) 증차과 건식세정 분야에서 경쟁력을 보유한 반도체 장비 기업으로, 용인·화성에서 생산·연구시설을 운영하고 있다.

용인반도체클러스터 조감도 [사진=용인시]

정부는 차세대 지능형 반도체 기술개발사업(2020~2029년)과 나노종합기술원 소부장 테스트베드를 통해 테스의 차세대 증착·세정장비 개발을 지원했다. 이에 힘입어 테스의 2022년 매출은 2019년 대비 2배 이상 상승했다. 현재 신규 연구시설 구축을 위한 투자도 진행하고 있다.

정부는 올해 1500억원 이상 규모로 소부장 기술개발을 지원하고, 개발된 기술이 양산으로 이어질 수 있도록 공공팹의 소부장 테스트베드 서비스 강화와 미국 NY Creates 등의 글로벌 첨단팹 연계를 통한 소부장 테스트 지원을 추진할 계획이다.

이와 더불어 칩 제조기업과 함께 소부장 양산 실증 테스트베드(미니팹) 구축을 추진한다. 해당 사업은 올해 예비타당성 조사를 거쳐 2027년 개소를 목표로 추진되고 있다.

또 올해부터 차세대 반도체 장비 원천기술 개발사업을 신규로 착수하고, 반도체 소부장 기업의 스케일업과 자립화를 위한 금융지원도 확대한다. 지난해 결성된 3000억원 규모의 반도체 생태계 펀드를 올해부터 본격 집행하고, 우대금리를 제공하는 대출·보증 프로그램도 지난해 대비 20% 이상 확대된 연간 8조원 규모로 지원한다.

강경성 차관은 "반도체 공급망 리스크에 흔들리지 않는 튼튼한 반도체 생태계를 구축하기 위해 국내 소부장 기업이 세계적인 역량을 보유할 수 있도록 지원하겠다"고 밝혔다.

rang@newspim.com

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