[서울=뉴스핌] 나은경 기자 = 삼성전자가 반도체 공정 일부에 일본 고순도 불화수소(에칭가스) 대체재를 투입해 생산하기 시작했다. 일본의 반도체 소재·부품 수출 규제가 시작된 지 약 두 달 만이다.

3일 삼성전자 관계자는 "최근 일부 반도체 공정에 일본산 불화수소 대체품을 투입하기 시작했다"고 말했다.

삼성전자 클린룸 반도체 생산현장. [사진=삼성전자]

다만 "일본산을 아예 배제하는 것이 아니고 극히 일부 공정에 대체품이 투입된 것"이라며 "수입처 다변화 노력은 계속 진행 중"이라고 덧붙였다.

아직 대체 초기 과정이지만 공정 적용이 가능한지 테스트하는 데서 나아가 실제 공정에 투입되기 시작한 데 의미가 있다는 설명이다.

삼성전자는 대체품의 출처를 공개하지 않고 있다. 하지만 업계에 따르면 대체된 불화수소 중엔 국내 업체의 제품도 포함된 것으로 알려졌다.

삼성전자는 일본의 수출규제 직후 일본산 불화수소 대체품을 찾기 위해 국내외 제품을 테스트해왔다. 하지만 양산 과정에 대체재를 투입하게 된 시점은 업계 예상보다 빠른 편이다.

한편 생산과정에서 일본산 불화수소를 사용하는 SK하이닉스와 삼성디스플레이는 아직 양산에 대체품을 쓰지 않는 것으로 알려졌다.

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